Teknolocî
Epîtaksiya tîrêjê ya molekulî, an jî MBE, teknîkek nû ye ji bo mezinkirina fîlimên tenik ên krîstalan ên li ser binê krîstal. Di şert û mercên valahiya ultra-bilind de, sobeya germkirinê bi her cûre hêmanên pêwîst ve tê stend kirin û hilmê hildiberîne, di nav kunên ku piştî berhevkirina tîrêjên atomî an molekulî yên tîrêjê têne çêkirin, derzîlêdana rasterast heya germahiya guncaw a substrata yek krîstal, kontrolkirina tîrêjê molekular. substrate di heman demê de dişoxilîne, ew dikare molekul an atoman di qatên hevrêziya krîstal de çêbike da ku li ser substratek "mezinbûnê" fîlimek zirav çêbike.
Ji bo xebata normal a alavên MBE, paqijiya bilind, tansiyona nizm û nîtrojena şilavê ya ultra-paqij pêdivî ye ku bi domdarî û bi domdarî li jûreya sarbûna amûrê were veguheztin. Bi gelemperî, tankek ku nîtrojena şil peyda dike, xwedan zexta derketinê di navbera 0,3 MPa û 0,8 MPa de ye. Nîtrojena şil di -196 ℃ de bi hêsanî di nav nitrojenê de di dema veguheztina lûleyê de tê hilmandin. Gava ku nîtrojena şil bi rêjeya gaz-avî ya bi qasî 1:700 di boriyê de were gazkirin, ew ê cîhê herikîna nîtrojena şil pir mezin dagir bike û herikîna normal li dawiya lûleya nîtrojena şil kêm bike. Wekî din, di depoya hilanîna nîtrojena şil de, îhtîmal e ku bermayiyên ku nehatine paqij kirin hebin. Di lûleya nîtrojena şil de, hebûna hewaya şil jî dê bibe sedema peydabûna qeşayê. Ger ev nepakî di nav amûrê de werin avêtin, ew ê zirarek nediyar bide amûrê.
Ji ber vê yekê, nîtrojena şil a di depoya depokirina derve de bi karîgerî, aramî û paqijiya bilind, û tansiyona kêm, bê nîtrojen, bê nepakî, 24 demjimêran bênavber, li atolyeya bê toz ber bi alavên MBE ve tê veguheztin, pergala kontrolkirina veguheztinê weha ye. hilberek bi kalîte.
Matching alavên MBE
Ji sala 2005-an vir ve, Amûrên HL Cryogenic (HL CRYO) vê pergalê xweşbîn û çêtir dike û bi hilberînerên alavên MBE yên navneteweyî re hevkariyê dike. Hilberînerên alavên MBE, di nav de DCA, REBER, bi pargîdaniya me re têkiliyên hevkariyê hene. Hilberînerên alavên MBE, di nav de DCA û REBER, di gelek projeyan de hevkarî kirine.
Riber SA ji bo lêkolîna nîvconductor û sepanên pîşesaziyê pêşkêşvanek gerdûnî ya pêşeng e ya hilber û karûbarên têkildar ên epîtaksiya tîrêjê molekular (MBE). Amûra Riber MBE dikare bi kontrolên pir bilind, qatên materyalê yên pir zirav li ser substratê razîne. Amûrên valahiya HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) bi Riber SA-yê ve girêdayî ye Amûra herî mezin Riber 6000 û ya herî piçûk Compact 21 e. Ew di rewşek baş de ye û ji hêla xerîdaran ve hatî nas kirin.
DCA MBE-ya oxide ya pêşeng a cîhanê ye. Ji sala 1993-an vir ve, pêşkeftina birêkûpêk a teknîkên oksîdasyonê, germkirina substratê antîoksîdan û çavkaniyên antîoksîdan pêk tê. Ji ber vê yekê, gelek laboratîfên pêşeng teknolojiya oksîdê DCA hilbijartiye. Pergalên MBE yên nîvconductor yên tevlihev li çaraliyê cîhanê têne bikar anîn. Pergala gerguhêzkirina nîtrojena şil a VJ ya Amûrên HL Cryogenic (HL CRYO) û alavên MBE yên pir modelên DCA di gelek projeyan de xwedî ezmûna hevberdanê ne, wek modela P600, R450, SGC800 hwd.
Tabloya Performansê
Enstîtuya Fîzîkê ya Teknîkî ya Shanghai, Akademiya Zanistî ya Chineseînî |
Enstîtuya 11-ê ya Pargîdaniya Teknolojiya Elektronîkî ya Chinaînê |
Enstîtuya Semiconductors, Akademiya Zanistî ya Çînê |
Huawei |
Akademiya Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Dema şandinê: Gulan-26-2021