Projeya Chip MBE di salên paşîn de qediya

Teknolocî

Epitaxy Beam Molekul, OR MBE, teknîkek nû ye ji bo zêdebûna fîlimên qalind ên kalîteyên bilind ên kristal li ser substrates kristal. Di şertên valahiyê yên Ultra-bilind de, ji hêla stûyê germkirinê ve bi her cûre pêkhateyên pêwîst ve tête çêkirin û ji holên ku li ser tîrêja tîrêjê ya tîrêjê an tîrêjê ya rahijmendî, binihêrin Di heman demê de şehîtkirina substrate, ew dikare molekul an atoman di navbêna rûkalê ya kristal de çêbikin da ku fîlimek nerm li ser "mezinbûna" substrate ava bikin.

Ji bo operasyona normal ya alavên MBE, paqijiya bilind, zexta kêm û nîtrojenê lîberê ya ultra-paqij hewce ye ku bi domdarî û bi zorê veguhestin li odeya sarbûna alavên. Bi gelemperî, tankek ku nîtrojenê derewîn peyda dike di navbera 0.3mpa û 0.8mpa.Liquid de nîtrojenê li -196 ℃ bi hêsanî di dema veguhestina boriyê de bi hêsanî tê vapor kirin. Carekê nîtrojenê derewîn bi rêjeya gazê ya gazê ya bi qasî 1: 700-ê li boriyê tê gazin kirin, ew ê di dawiya bîhnek nîtrojenê ya liquid de rahijek mezin a rûnê rûnê rûnê. Wekî din, di tankê hilanînê ya nîtrojenê de, dibe ku hebên ku nehatine paqij kirin hene. Di nav boriya nîtrojenê ya liquid de, hebûna hewaya şil jî dê bibe sedema nifşa berfê. Ger ev nexşe di alavan de bêne derxistin, ew ê bibe sedema zirarên nediyar li alavên.

Ji ber vê yekê, nîtrojenê derewîn li tankê hilanînê ya li derve di komxebata belaş, aramî û paqij, û zexta nizm de, bê nîtrojen, bê nîgar, 24 saetan bêserûber e, pergala kontrolkirina veguhastinê ye hilberek jêhatî.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Amûrên MBE li hev dikin

Ji sala 2005-an û vir ve, alavên krozî yên HL (HL Cryo) xweşbîn û başkirin û başkirina vê pergalê û hevkariyê bi hilberînerên alavên MBE yên Navneteweyî re baş kirin. Hilberên alavên MBE, di nav de DCA, REBER, bi pargîdaniya me re têkiliyên hevkariyê hene. Hilberên alavên MBE, di nav de DCA û Reber, di gelek projeyên mezin de hevkariyê kirine.

Riber sa ji bo hilberên koçber û karûbarên molekulî û karûbarên têkildar ji bo lêkolîn û serlêdanên pîşesazî û karûbarên têkildar ên rêgezek girîng e. Amûra Riber MBe dikare li ser substrate, bi kontrolên pir bilind, pêlên pir nerm ên materyalê depo bikin. Amûrên valahiyê yên alavên Cryogenîk (HL Cryo) bi Riber Sê re alavên herî mezin ên Riber 6000 e û piçûktir 21 e. Ew di rewşek baş de ye û ji hêla xerîdar ve hatî nas kirin.

DCA MBE ya pêşeng a cîhanê ye. Ji sala 1993-an, pêşkeftina sîstematîk a teknîkên oxidation, germkirina antioxidant substrate û çavkaniyên AntioXidant hatine kirin. Ji bo vê yekê, gelek laboraturên pêşeng teknolojiya Oxide DCA hilbijartin. Pergalên MBE Semicîdê yên Composite li seranserê cîhanê têne bikar anîn. Sîstema Nîtrojenê VJ ya VJ-ê ya alavên Cryogenîk (HL Cryo) û MBE Modelên DCA-ê di gelek projeyan de, wek modela P600, R450, SGC800 ETC.

TCM (2)

Tabela Performansê

Enstîtuya Shanghai ya Fizîka Teknîkî, Akademiya Zanistên Chineseînî
Enstîtuya 11emîn a Pargîdaniya Teknolojiya Elektronîkî
Enstîtuya Semiconductors, Akademiya Zanistên Chineseînî
Huawei
Akademiya Alibaba Damo
PowerTrech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou wêneyên herdem

Demjimêra paşîn: Gulan-26-2021

Peyama xwe bihêlin