Epîtaksîya tîrêjên molekulî, an MBE, teknîkek nû ye ji bo mezinbûna fîlmên tenik ên krîstalên bi kalîte bilind li ser substratên krîstal. Di şert û mercên valahiyek pir bilind de, sobeya germkirinê bi her cûre pêkhateyên pêwîst ve tê sazkirin û buharê çêdike, bi navgîniya kunên ku piştî kolîmasyona tîrêjê çêdibin, tîrêjên atomî an molekulî rasterast digihîjin germahiya guncaw a substrata krîstala yekane, di heman demê de tîrêjên molekulî ber bi substratê ve dişopînin, ew dikare bibe sedema ku molekul an atomên di tebeqeyên hevrêziya krîstal de li ser substratê fîlmek tenik çêbikin da ku "mezin" bibin.

Ji bo xebata normal a alavên MBE, pêdivî ye ku nîtrojena şile ya paqijiya bilind, zexta nizm û pir paqij bi berdewamî û bi awayekî sabît ber bi odeya sarkirinê ya alavê ve were veguhastin. Bi gelemperî, tankek ku nîtrojena şile peyda dike, zexta derketinê di navbera 0.3MPa û 0.8MPa de ye. Nîtrojena şile ya li -196℃ di dema veguhastina boriyê de bi hêsanî vediguhere nîtrojenê. Dema ku nîtrojena şile bi rêjeya gaz-şile ya nêzîkî 1:700 di boriyê de were gaz kirin, ew ê gelek cîhê herikîna nîtrojena şile dagir bike û herikîna normal li dawiya boriyê kêm bike. Wekî din, di tanka hilanîna nîtrojena şile de, îhtîmal e ku bermahiyên ku nehatine paqij kirin hebin. Di boriyê nîtrojena şile de, hebûna hewaya şil dê bibe sedema çêbûna şelqa qeşayê jî. Ger ev qirêjî werin avêtin nav alavê, ew ê zirarên nepêşbînîkirî bide alavê.

Ji ber vê yekê, nîtrojena şil a di depoya hilanîna derve de bi karîgeriya bilind, aramî û paqijiyê di atolyeya bê toz de ji alavên MBE re tê veguheztin, û zexta nizm, bê nîtrojen, bê qirêjî, 24 demjimêran bênavber, pergala kontrola veguhastinê hilberek jêhatî ye.