Epitaxy ya tîrêjê molekulî, an MBE, teknîkek nû ye ji bo mezinbûna fîlimên tenik ên krîstalan ên li ser binyadên krîstal ên hêja. Di şert û mercên valahiya ultra-bilind de, ji hêla sobeya germkirinê ve bi her cûre pêkhateyên hewce ve tête barkirin û buharê çêdike, bi riya qulikên piştî tîrêjê atomî an molekulerî re hevgirtî pêk tê, derziya rasterast bi germahiya guncan a binrava krîstala yekbûyî, kontrolkirina tîrêja molekuler di heman demê de lêgerîna substratê, ew dikare molekul an atomên di tebeqeyên lihevkirina krîstal de çêbike da ku li ser "mezinbûn" a substratê fîlimek tenik çêbike.

Ji bo xebata normal alavên MBE, pêdivî ye ku paqijiya bilind, zexta kêm û nîtrojena avî ya ultra-paqij ku bi domdarî û bi îstîqrar were veguheztin ser hola sarbûna alavê. Bi gelemperî, tankek ku nîtrojena şile peyda dike di navbera 0.3MPa û 0.8MPa de zexta derketinê heye. Nîtrojena şil a li -196 di dema veguhastina boriyê de bi hêsanî di azotê de tê vapor kirin. Gava ku nîtrojena şilek bi rêjeya gaz-avî ya bi qasî 1: 700 di nav lûleyê de were gazîkirin, ew ê hejmarek mezin a valahiya nîtrojenê ya şileş dagir bike û herika normal a li dawiya boriya nîtrojenê ya şilav kêm bike. Wekî din, di nav depoya depokirina nîtrojenê ya şil de, dibe ku bermahiyên ku nehatine paqij kirin hebin. Di xeta boriya azotê ya şilav de, hebûna hewaya şil dê bibe sedema nifşek qalikên qeşayê jî. Ger van nepaqijiyan di alavê de werin avêtin, ew ê zirarê bide pêşbînî ya alavê.

Ji ber vê yekê, nîtrojena şil a di depoya depoya derve de bi karîgeriya bilind, aramî û paqijî, û tansiyona kêm, no azot, no pîsîtî, 24 demjimêran bênavber, li kargeha bê toz ji bo alavên MBE tê veguhastin, pergala kontrola veguhastinê ya wusa ye hilberek jêhatî.